能量色散光譜儀定量分析條件的選擇與波長色散光譜儀定量分析條件的選擇相比較，相對于所用儀器來說要簡單一些，但能量色散光譜儀種類繁多，如有用二次靶的，也有用偏振光的，它們各有特色，因此應(yīng)在熟悉所用儀器性能的條件下，就其特性選擇適合的分析條件，以滿足分析要求。它的條件選擇主要有提供給X射線管的管壓和管電流、譜線、濾光片的選擇和測定時間。

譜線有Ka、Kb、Lb、La和Ma.可供選擇，通常原子序數(shù)小于42的元素用K系線，大于42的元素用L系線，有時亦可選M系線。為了便于獲取待測元素的凈強(qiáng)度，對使用Si-PIN和Si(Li)探測器的譜儀，在解譜時不僅考慮待測元素，還應(yīng)考慮與待測元素譜相近的基體中其他元素，特別是重元素L和M系線的干擾。對于低分辨率譜儀如使用封閉式正比計數(shù)管的譜儀，通常測定純元素譜，并以譜的半高寬左右兩側(cè)的能量作為感興趣區(qū)的起點和終點。

熒光分析X射線管管壓和管電流的選擇原則與在波長色散光譜儀中的不同，所用管壓通常比待測元素的激發(fā)電位高3～5kev,而在波長色散光譜儀中要比激發(fā)電位大4～10倍，同時管電流一般均較小，它受能量色散光譜儀所允許的Z大計數(shù)率(5～30kcps)的限制。基于此，視待分析元素對象不僅要設(shè)置不同的管壓和管電流，還要與濾光片結(jié)合起來考慮，其原則是保證所測元素獲得Z大強(qiáng)度。如用Si-PIN探測器的譜儀，以Rh靶作為激發(fā)光源，分析水泥中鎂、鋁、硅、硫和鉀時，選擇4kv,0.6mA,其目的是使高含量鈣不被激發(fā)，而測鈣、鈦和鐵時，選擇13kv,0.lmA，并選用200pm鋁作濾光片，除去X射線管發(fā)射的RHL_線，以便降低鋁、硅等元素的X射線熒光強(qiáng)度，從而提高鈣和鐵等元素的X射線熒光強(qiáng)度。選擇二次靶和偏振光也是為了進(jìn)行有選擇的激發(fā)，并降低背景。對于封閉式正比計數(shù)管為探測器的低分辨率光譜儀，管壓和管流選擇也是很重要的，如測定水泥原材料，用Cu靶，3盧um厚的Sn濾光片，測Si,A1,S時也用4kv,0.6mA,而測Ca和Fe時則用10kv,0.06mA.